Tungsten Sputtering Target factpry
Målfremstillingsmetode
1. Støbemetode
Støbemetoden er at smelte legeringsråmaterialer med et bestemt sammensætningsforhold og derefter hælde den smeltede legeringsopløsning i en form for at danne en barre, som derefter bearbejdes til at danne et mål. Støbemetoder kræver generelt smeltning og støbning i vakuum. Almindelige støbemetoder omfatter: vakuuminduktionssmeltning, vakuumbuesmeltning og vakuumelektronbombardementsmeltning. Dets fordele er, at det producerede målmateriale har lavt indhold af urenheder, høj densitet og kan bruges på mål i stor skala. Kemisk produktion; Ulempen er, at hvis to eller flere metaller med store forskelle i smeltepunkt og massefylde smeltes, er det vanskeligt at lave et legeringsmål med ensartet sammensætning ved konventionelle smeltemetoder.
2. Pulvermetallurgimetode
Pulvermetallurgimetoden er at smelte legeringsråmaterialer med en vis andel af ingredienser, derefter støbe legeringsopløsningen opnået efter smeltning til en barre, knuse den støbte barre, statisk presse det knuste pulver i form og derefter sintre det ved høj temperatur til danne et mål. materiale. Fordelen ved målmaterialet fremstillet på denne måde er, at sammensætningen er ensartet; Ulempen er, at densiteten er lav, og urenhedsindholdet er højt. Almindeligt anvendte pulvermetallurgiindustrier omfatter koldpresning, vakuum varmpresning og varm isostatisk presning.
80% Tungsten Sputtering Targets
80 % W Sputtering-mål
